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1、在產(chǎn)生等離子體的過程中，高頻放電所產(chǎn)生的瞬間高能量能夠打開某些有害氣體分子的化學能，如：氨、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結(jié)構(gòu)，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈分解為單質(zhì)原子或無害分子。
2、等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結(jié)合，在電場作用下，廢氣分子處于激發(fā)態(tài)，當廢氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結(jié)合能時，廢氣分子的分子鍵斷裂，直接分解成單質(zhì)原子或由單一原子構(gòu)成得無害氣體分子。同時產(chǎn)生的大量?OH、?HO2、?O等活性自由基和氧化性極強的O3，能與有害氣體分子發(fā)生化學反應， 生成無害產(chǎn)物。
3、物理作用表現(xiàn)在具有荷電集塵作用。等離子體中的大量電子與顆粒污染物發(fā)生非彈性碰撞并粘附其表面從而使其荷電，在電場作用下，顆粒污染物被集塵極收集。
4、生物作用表現(xiàn)在具有消毒殺菌之功效。機理為：等離子體中的正負粒子使生物表面產(chǎn)生
低溫等離子體技術(shù)是近年發(fā)展起來的廢氣處理新技術(shù)，低溫等離子體處理廢氣的原理為：當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內(nèi)發(fā)生分解，以達到降解污染物的目的。
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