現(xiàn)在國內(nèi)根據(jù)低溫等離子體工業(yè)廢氣處理技術(shù)研發(fā)出相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)化廢氣治理設(shè)備，歸于根本是利用一些化學(xué)反應(yīng)的化學(xué)鍵拆分，得到無害的氣體分子，從而達(dá)到環(huán)保排放煙氣的標(biāo)準(zhǔn)要求。具體是利用所產(chǎn)生的高能電子、自由基等活性粒子、電離、裂解工業(yè)廢氣中的各組成份，使之發(fā)生分解，氧化等一些列復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，再經(jīng)過多級凈化，從而各種污染源排放的異味、臭味污染物，使有毒有害氣體達(dá)到低毒化、化，保護(hù)人類生存環(huán)境。

低溫等離子體技術(shù)應(yīng)用范圍廣，氣體的流速和濃度對于氣態(tài)污染物治理技術(shù)應(yīng)用來說是兩個非常重要的因素。生物過濾和燃燒技術(shù)能應(yīng)用于較高濃度范圍，但卻受氣體的流速所限。而低溫等離子體技術(shù)對氣體的流速和濃度都有一個很寬的應(yīng)用范圍，低溫等離子設(shè)備其應(yīng)用廣泛不言而喻。等離子體技術(shù)工藝簡單。吸附法要考慮吸附劑的定期更換，脫附時還有可能造成二次污染；http://www.wzyihong.com燃燒法需要很高的操作溫度；生物法要嚴(yán)格控制pH值、溫度和濕度等條件，以適合生物的生長。而低溫等離子體技術(shù)則較好的克服了以上技術(shù)的不足，反應(yīng)條件為常溫常壓，反應(yīng)器結(jié)構(gòu)簡單，低溫等離子設(shè)備并可同時混合污染物(有些情況還具有協(xié)同作用)，不會產(chǎn)生二次污染等。就經(jīng)濟(jì)可行性來說，低溫等離子體反應(yīng)裝置本身系統(tǒng)構(gòu)成就單一緊湊，在運(yùn)行費(fèi)用方面，觀來講，因放電過程只提高電子溫度而離子溫度基本保持不變，這樣反應(yīng)體系就得以保持低溫，低溫等離子設(shè)備所以不僅能量利用率高，而且使設(shè)備維護(hù)費(fèi)用也很低。

低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，由電子、離子、自由基和中性粒子組成。低溫等離子體產(chǎn)品利用螺旋波低溫冷光技術(shù)產(chǎn)生的高能離子束和電子束形成的低溫等離子體，以每秒800萬次-5000萬次的速度反復(fù)轟擊異味氣體分子，去、電離、裂解廢氣中的各種成分，從而發(fā)生氧化等一系列的化學(xué)反應(yīng)。等離子處理廢氣的原理如下：

1. 等離子通電后會形成一個1.5萬伏的高壓電場，廢氣在進(jìn)入的時候被電離，分子鍵斷裂，廢氣分子被分解成高能電子。

2. 氧氣O2被電離成O- （游離態(tài)的氧原子），因游離氧所攜正負(fù)電子不平衡，所以需要與氧分子結(jié)合，進(jìn)而產(chǎn)生臭氧O3。

3. 廢氣電子在O3 的作用下，被氧化成CO2 和H2O